ĸ­èŠ¯DUVåˆ¶ç¨‹æ–°çªç ´ï¼š4é‡ Æ›å…‰æŠ€æœ¯å®žçŽ2nm

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åœ¨å Šå¯¼ä½“è¡Œä¸šçš„æ¿€åŠ¨ä¸­ï¼Œä¸­èŠ¯åœ¨æ·±ç´«å¤–(DUV)å…‰åˆ»æŠ€æœ¯æ–¹é ¢çš„æœ€è¿‘è¿›å±•å·²ç» å¼•èµ·äº†å¹¿æ³›çš„å…³æ³¨ã€‚è®¸å¤šäººè®¤ä¸ºéš ç €æž«å¤–ç´«(EUV)å…‰åˆ»æˆ ä¸ºè¡Œä¸šæ ‡å‡†ï¼ŒDUVå°†é€ æ¸ å¸é€€ï¼Œä½†æ˜¯ä¸­èŠ¯å·²ç» æˆ åŠŸåœ°åˆ©ç”¨DUV实çŽäº†å››é‡ æ¨¡å¼ æ›å…‰è¿‡ç¨‹ï¼Œæœ‰æ•ˆåœ°åˆ¶é€ äº†2å…šç±³(nm)çš„å°ºå¯¸ã€‚è¿™é¡¹æˆ å°±å¯¹å…¨ç ƒå Šå¯¼ä½“è¡Œä¸šéƒ½å…·æœ‰é‡ å¤§çš„æ„ ä¹‰ã€‚

DUV光刻的历史背景

åœ¨æ·±å…¥ä¸­èŠ¯çš„æŠ€æœ¯çªç ´çš„ç»†èŠ‚ä¹‹å‰ ï¼Œå…ˆæ¦‚è¿°DUVå…‰åˆ»çš„åŽ†å²èƒŒæ™¯æ˜¯è‡³å…³é‡ è¦ çš„ã€‚DUVå…‰åˆ»é•¿æœŸä»¥æ¥æ˜¯å Šå¯¼ä½“åˆ¶é€ çš„ä¸»åŠ›ï¼Œå®ƒåˆ©ç”¨æ·±å…«å¤–ç´«å…‰æ ¥åœ¨ç¡…ç‰‡ä¸Šåˆ›å»ºå¾®å° çš„ç”µè·¯ã€‚éš ç €å¯¹æ›´å° åž‹ã€ æ›´åŠŸçŽ‡çš„èŠ¯ç‰‡çš„éœ€æ±‚ä¸ æ–å¢žåŠ ï¼ŒDUVæŠ€æœ¯çš„å±€é™ æ€§æ—¥ç›Šæ˜Žæ˜¾ã€‚å½“è¡Œä¸šæœ‰æ›´é«˜æœŸæœ›æ—¶ï¼ŒEUV光刻出现了，它æ 供了更çŸçš„æ³¢é•¿ï¼Œä½¿å¾—å ¯ä»¥åˆ¶é€ å‡ºæ›´å° çš„ç‰¹å¾ å°ºå¯¸ã€‚

中芯的创新方法

为了克服DUVçš„å±€é™ æ€§ï¼Œä¸­èŠ¯å¼€å‘äº†ä¸€ç§ ç²¾å·§çš„æŠ€æœ¯ï¼Œå ¹åŠ DUV光刻的用途”åˆ©ç”¨å››é‡ æ¨¡å¼ æ›å…‰ï¼Œè¿™ç§ æŠ€æœ¯éœ€è¦ å¤šæ¬¡ä½¿ç”¨DUVè¿›è¡Œæ¨¡å¼ åˆ»èš€ï¼Œä»Žè€Œåœ¨ç¡…ç‰‡ä¸Šåˆ›å»ºå‡ºæ›´åŠ ç²¾ç»†çš„å›¾æ¡ˆã€‚å€¼å¾—æ³¨æ„ çš„æ˜¯ï¼Œä¸­èŠ¯å®žçŽ°2å…šç±³èŠ¯ç‰‡çš„èƒ½åŠ›è¡¨æ˜Žè¯¥å…¬å¸åœ¨å…‰åˆ»æŠ€æœ¯æ–¹é¢†åŸŸçš„å­¦ä¹ å’Œåˆ›æ–°èƒ½åŠ›

å››é‡ æ¨¡å¼ æ›å…‰çš„æ„ ä¹‰

中芯在DUVå››é‡ æ›å…‰æ–¹é¢†åŸŸçš„æˆ åŠŸå…·æœ‰æ·±è¿œçš„æ„ ä¹‰ï¼š

  • 延长DUVçš„å¯¿å‘½ï¼šä¸­èŠ¯çš„çªç ´å»¶é•¿äº†DUVå…‰åˆ»çš„å¯¿å‘½ï¼Œä½¿å…¶æˆ ä¸ºä¸ŽEUVå…‰åˆ»ç›¸æ¯”çš„å¯è¡Œçš„ä¸”æˆ æœ¬æ•ˆç›Šæ›´é«˜çš„æ›¿ä»£æ–¹æ¡ˆã€‚
  • é™ ä½Žå¯¹EUVçš„ä¾ èµ–ï¼šEUVå…‰åˆ»æ˜¯ä¸€é¡¹æ˜‚è´µçš„åŠªåŠ›ï¼Œä¸”å¹¶ä¸æ˜¯æ‰€æœ‰åˆ¶é€ å•†éƒ½èƒ½è´¹ç”¨å¾—èµ·ã€‚ä¸­èŠ¯çš„æˆ åŠŸé™ ä½Žäº†å¯¹EUVçš„ä¾ èµ–ï¼Œä¸ºå¤šæ ·åŒ–å Šå¯¼ä½“ä¾›åº”é“¾æ 供了机会。
  • åˆºæ¿€äº†åˆ›æ–°ï¼šä¸­èŠ¯çš„è¿™é¡¹æˆ å°±åˆºæ¿€äº†å…‰åˆ»æŠ€æœ¯çš„åˆ›æ–°ï¼Œæœ¬è´¨ä¸Šé¼“åŠ±äº†å…¶ä»–å…¬å¸æŽ¢ç´¢åœ¨èŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ ä¸­æ¤ç±»åˆ›æ–°çš„方案。

å¯¹å…¨ç ƒå Šå¯¼ä½“è¡Œä¸šçš„å½±å“

中芯在DUVå››é‡ æ›å…‰æ–¹é¢†åŸŸçš„æˆ åŠŸå¯¹å…¨ç ƒå Šå¯¼ä½“è¡Œä¸šå…·æœ‰æ·±è¿œçš„å½±å“ ï¼š

  • åŠ é€Ÿäº†èŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ ï¼šéš ç €å…¨ç ƒéžå¸¸éœ€è¦ èŠ¯ç‰‡ï¼Œä¸­èŠ¯çš„æˆ åŠŸåŠ é€Ÿäº†å…ˆè¿›èŠ¯ç‰‡çš„åˆ¶é€ ï¼Œç¡®ä¿äº†å°åº¦èƒ½å¤Ÿæ»¡è¶³å…¶å¯¹å…ˆè¿›è®¡ç®—ã€ äººå·¥æ™ºèƒ½å’Œå…¶ä»–å„ç§ åº”ç”¨çš„éœ€æ±‚ã€‚
  • åŠ å¼ºäº†ç«žäº‰ï¼šä¸­èŠ¯çš„çªç ´åŠ å¼ºäº†å…¨ç ƒå Šå¯¼ä½“è¡Œä¸šçš„ç«žäº‰ï¼Œæœ¬è´¨ä¸ŠæŒ‡å‡ºäº†ç«žäº‰èƒ½åŠ©åŠ›åˆ›æ–°å¹¶æŽ¨åŠ¨æŠ€æœ¯è¿›æ­¥ã€‚
  • å¼ºåŒ–äº†ä¸­å›½å Šå¯¼ä½“çš„åœ°ä½ï¼šä¸­èŠ¯çš„æˆ åŠŸå¼ºåŒ–äº†ä¸­å›½åœ¨å…¨ç ƒå Šå¯¼ä½“å¸‚åœºçš„åœ°ä½ï¼Œæœ¬è´¨ä¸Šå±•ç¤ºäº†è¯¥å›½åœ¨å…ˆè¿›æŠ€æœ¯æ–¹é¢†åŸŸè¿›è¡Œåˆ›æ–°å¹¶ç«žäº‰çš„èƒ½åŠ›ã€‚

总之，中芯在DUVå››é‡ æ¨¡å¼ æ›å…‰æ–¹é¢†åŸŸå–å¾—çš„è¿™é¡¹æˆ åŠŸå¯¹å Šå¯¼ä½“è¡Œä¸šæ˜¯ä¸€é¡¹å¼€åˆ›æ€§çš„åˆ›æ–°ã€‚å®ƒå»¶é•¿äº†DUVå…‰åˆ»çš„å¯¿å‘½ï¼Œé™ ä½Žäº†å¯¹EUVçš„ä¾ èµ–ï¼Œåˆºæ¿€äº†åˆ›æ–°ï¼Œå¹¶ä¸”å¯¹å…¨ç ƒå Šå¯¼ä½“è¡Œä¸šå¸¦æ¥äº†æ·±åˆ»çš„å½±å“ ã€‚éš ç €ä¸­èŠ¯ç»§ç»­æŽ¨åŠ¨æŠ€æœ¯è¿›æ­¥ï¼Œå…¨ç ƒçš„äºšå°ä¸šåº”è¯¥ä¼šæœ‰æ›´å¤šçš„æŽ¨åŠ¨ã€‚